東莞市嘉騰儀器儀表有限公司Dongguan Jaten Instrument Co., Ltd
白光干涉三維形貌儀
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅(jiān)固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便而快速，只需把被測(cè)物體放置到載物臺(tái)，聚焦出干涉條紋，按下測(cè)量按鈕即可開(kāi)始整個(gè)測(cè)量過(guò)程。 標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動(dòng)調(diào)整載物平臺(tái)，可依據(jù)不同測(cè)試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動(dòng)載物平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測(cè)要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測(cè)量和分析。 | |
| 產(chǎn)品特點(diǎn)： | |
?非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測(cè)量 ?高精度測(cè)量、垂直重復(fù)測(cè)量精度可達(dá)1nm 垂直解析度可達(dá)0.1nm、水平解析度可達(dá)0.1um ?大面積測(cè)量 自動(dòng)縫合技術(shù)實(shí)現(xiàn)大面積高精度測(cè)量 ?功能強(qiáng)大、使用便捷的測(cè)量分析軟件 PuruiVision應(yīng)用軟件可提供多項(xiàng)測(cè)量參數(shù) ?適用范圍廣泛 可以測(cè)量多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu) ?真正意義的免維護(hù)及優(yōu)良的性能價(jià)格比 |  |
| 使用便捷的應(yīng)用軟件： | |
?硬件控制、二維載物平臺(tái)自動(dòng)控制、光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)聚焦、干涉信號(hào)處理 ?測(cè)量結(jié)果顯示及各種方式處理 二維平面和三維立體顯示 任意放大或縮小顯示圖像 調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn) ?粗糙度測(cè)量及結(jié)果顯示 包括評(píng)價(jià)區(qū)域位置信息和多種粗糙度評(píng)價(jià)參數(shù) ? 線寬測(cè)量及結(jié)果顯示 采用亞像素插值處理技術(shù)，線寬測(cè)量精度最高可達(dá)0.1um 表格形式顯示各種線寬結(jié)果 根據(jù)事先確定的評(píng)判基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)線寬自動(dòng)評(píng)判功能 ?多幅相鄰區(qū)域測(cè)量結(jié)果自動(dòng)縫合 | |
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| 產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域： | |
| 在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、微機(jī)電、平面顯示器、電子封裝及光學(xué)加工等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過(guò)程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以滿足業(yè)界及研究部門(mén)之需求。無(wú)論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過(guò)1%，就能被完全檢測(cè)出來(lái)。 | |
| ?半導(dǎo)體硅片及器件 ?MEMS裝置表面 ?平面液晶顯示器 ?薄膜厚度 ?金屬摩擦學(xué) ?陶瓷基板表面 ?光學(xué)器件表面 ?其他材料分析及微表面研究 |  |
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